ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保護(hù)(1)
1、電泵保護(hù)
（1）每月審查電泵油位，那末油位低于或快瀕臨油位上限時(shí)，須增添電泵油；那末油呈棕色、褐色，或聞起來有異味，注明油已變質(zhì)。應(yīng)將油放盡后，臨時(shí)將放油塞擰上，讓泵在進(jìn)氣口翻開的狀態(tài)下旋片式真空泵運(yùn)行約10s，將留在電泵輪回通路中的油也放出，再擰凋謝油塞，放出殘留的油。多余時(shí)，先用新油顯影一遍，再退出新油。
（2）每3個(gè)月更替電泵油。審查油霧過濾器，若被油滲透，應(yīng)更替。2、離子源保護(hù)
在對(duì)離子源作保護(hù)之前，務(wù)必將檢漏儀的主電源插銷拔下。
（1）組裝VHS放大器。將VHS放大器和離子源的電源接頭卸下，用內(nèi)六角扳手?jǐn)Q下兩個(gè)緊固螺絲，拆下VHS放大器，將VHS放大器頭朝下，擱置在骯臟處，留神防塵。
（2）蕩滌離子源底座。擰下6個(gè)螺絲，而后不慎地把底座法蘭垂直地提起來，接著用乙醇蕩滌密書皮。實(shí)現(xiàn)之上作業(yè)后，即時(shí)用墊圈專用楦子將離子源住口蓋住。
（3）取下真絲。拆下3個(gè)緊固螺絲，取下真絲。
（4）拆下收集極。只有將兩個(gè)緊固螺絲取下即可。
（5）換新真絲和收集極。先將收集極用兩個(gè)緊固螺絲生動(dòng)在離子源座上（不要將螺絲擰緊）。接著將新真絲的兩個(gè)接頭拔出接報(bào)柱內(nèi)，此時(shí)不要擰緊兩個(gè)聯(lián)接螺絲。
（6）元件的調(diào)整。真絲織支持架的兩個(gè)裝置面和其支持座兩個(gè)裝置面緊貼上，擰緊緊固螺絲。調(diào)節(jié)收集極，使真絲在左右位置坐落收集極的核心（收集極住口兩邊應(yīng)有同樣的圈數(shù)）;接續(xù)調(diào)整收集極，使真絲在垂直位置平行于收集極的住口，且在于住口的地方。擰緊收集極的兩個(gè)緊固螺絲。擰緊真絲的兩個(gè)聯(lián)接螺絲。
（7）裝置離子源和VHS放大器。細(xì)心審查離子源的導(dǎo)向塊上不要粘有其余物體，不慎地將導(dǎo)向塊漸漸地放入質(zhì)譜室腔中，勻稱擰緊6個(gè)螺絲即可。將VHS放大器細(xì)心放在密書皮上，勻稱擰緊兩個(gè)螺絲。最初，將VHS放大器和離子源的電纜聯(lián)接好。VHS放大器、離子源等元件，對(duì)任何內(nèi)容的凈化及污垢都非常敏感，在保護(hù)內(nèi)中中務(wù)必尤其留神。3、復(fù)合分子泵光滑
此保護(hù)內(nèi)中每6個(gè)月繼續(xù)一次。光滑脂注入器上帶有一個(gè)彩色夾子和一個(gè)白色夾子，該署夾子是用來確定注入軸承的油脂用量的。
（1）光滑前者軸承。將注入器拔出螺絲孔，直到無奈拔出為止，按下注入器手柄直到其在夾子的白色標(biāo)記處停留。
（2）光滑后端軸承。將白色夾子取下，把油脂（白色夾子幅度）別離勻稱地注入兩個(gè)注入孔（兩個(gè)對(duì)稱的通孔）中。
（3）讓軸承中光滑脂散布勻稱。將分子泵電源板CD2上的電門SW1扳向“R”地位，開機(jī)讓泵運(yùn)行約10min，而后關(guān)燈。再將電門扳向“N”地位。改觀SW1的地位時(shí)，均務(wù)求在不帶電的狀況下繼續(xù)。
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